報告題目：激光全息干涉光刻加工

報 告 人：李星輝 特別研究員 博士生導(dǎo)師

報告時間：12月15日 10:00

報告地點：線下：實驗樓2B313
          線上:騰訊會議：401-918-192

科技處 前沿院 機電工程學院

2021年12月15日

報告人簡介:

李星輝，清華大學特別研究員、博士生導(dǎo)師，2014年博士畢業(yè)于日本東北大學(Tohoku University), 微納光學加工與光學精密測量領(lǐng)域?qū)＜?。主要研究方向：激光全息干涉光刻、激光干涉測量、光譜分析與光譜共焦、結(jié)構(gòu)光三維重建及機器視覺。在上述領(lǐng)域承擔國家自然科學基金、國家重點研發(fā)計劃、省自然基金等在內(nèi)的項目15項，科研經(jīng)費1600余萬元；發(fā)表高水平學術(shù)論文70余篇，其中SCI論文45篇；申請發(fā)明專利20余項，授權(quán)發(fā)明專利10余項。